船舶海洋・航空宇宙・極限領域
ブース番号O-009
- 大学等シーズ展示
- 要素技術原理検証
- 技術移転
- 共同研究開発
ナノダイヤモンド温度量子センサ
See the Invisible Heat: Quantum Nanodiamond Sensors for Nanoscale Temperature Mapping and Thermal Analysis
キーワード：
- #量子センサ
- #温度
- #ナノダイヤモンド
- #バイオ
- #ナノテクノロジー
岡山大学 学術研究院環境生命自然科学学域（理） 理学部化学科ナノ化学
教授藤原 正澄
Okayama University
ProfessorMasazumi Fujiwara
技術概要
ダイヤモンド中の量子欠陥（NVセンター）を利用し、これまで見えなかったナノ領域の温度を可視化する革新的なセンサ技術を紹介します。従来のサーモグラフィや熱電対では困難だった数十nmスケールの温度分布を、非接触かつリアルタイムで高精度に測定できます。さらに、−100～700℃の広い温度範囲と高い耐久性を有し、半導体やナノ材料内部の局所的な熱現象を直接捉えられる点で従来技術に対して大きな優位性を持ちます。
想定される活用事例
半導体製造では、レジスト薄膜（数十nm）のベーキングやエッチング工程中の局所温度を直接計測し、パターン欠陥や歩留まり低下の要因解析に活用できます。化粧品分野では、リポソームやナノカプセルの熱安定性や構造変化を粒子単位で評価可能です。従来取得できなかったナノスケール熱データにより、製造条件最適化や高機能材料開発を加速し、高付加価値市場の創出に貢献します。
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特許情報
- 出願ステージ
- 公開中
- 名称
- ＯＤＭＲ温度測定方法
- 特許権者または出願人
- 国立大学法人岡山大学
- 発明者
- 藤原正澄
- 基礎出願番号
- 特願2019-124578
- 基礎出願年月日（西暦）
- 2019年7月3日
企業へのメッセージ
レジスト薄膜（数十nm）のベーキングやエッチング工程中の局所温度を直接計測し、パターン欠陥や歩留まり低下の要因解析に活用できます。また、リポソームやナノカプセルの熱安定性や構造変化を粒子単位で評価可能なため、製造条件最適化や高機能材料開発を加速し、高付加価値市場創出に貢献します。
お問い合わせ先
知的財産本部 知財管理Ｇ
E-mail: sangaku2@adm.okayama-u.ac.jp
