技術概要

本技術は、既存の机を自動化ラインへと変える「後付け型デスクトップ・ファクトリ」です。従来の大型・高額な専用装置に対し、手のひらサイズの「精密群ロボット」を用いる点で画期的です。新規性・優位性として、最新の変位・力覚センサを組合わせて、XY軸サブμm、θ軸mdegの精度、XYZ軸の1gf力覚制御（ソフトランディング）を両立しました。アタッチメントの換装により、半導体のダメージレス検査から、細胞操作、粉末秤量などのラボ作業まで、極小タスクを既存環境のまま低コストで自在に自動化・再構成できます。

想定される活用事例

約450億円規模の半導体解析市場を初期ターゲットとし、次世代半導体のダメージレス検査に活用します。既存機比で初期投資を最大80％削減し、段取り替え時間を大幅に短縮します。高額な専用機更新を回避しつつ多品種少量生産と歩留まり向上を実現し、製造業の競争力強化に貢献します。さらに本技術を基盤とし、光学・電子部品の精密組立や、細胞操作・粉末秤量などバイオ・化学分野の自動化へも水平展開します。

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特許情報

企業へのメッセージ

小型軽量な精密自走ロボットを展示します。既存設備へ後付けでき、XYθサーフェスエンコーダとの連携によりμmオーダーの精密経路追従を実現。バイオ医療、半導体・MEMS分野の組立・検査を柔軟化し、複数台連携によるロボットファクトリへ発展します。

お問い合わせ先

横浜国立大学 研究推進機構 産学官連携推進部門 産学官連携支援室

E-mail: sangaku-cd@ynu.ac.jp