技術概要

モビリティの完全自動走行には、慣性航法を担う慣性センサ（加速度センサと角速度センサ）の超高精度化が必要となります。このため低コストなマイクロ慣性センサの構造やシステムを考案し、高精度化を図っています。加速度センサは、空気分子によるノイズを低減することや、センサ構造をフィードバック制御することによって、十分な応答性を確保しながら高精度化を行います。角速度センサは複数の慣性マスとリング構造からなり、ワイングラスのような振動モードを誘発することによって超高感度化、すなわち超高精度化を狙っています。

想定される活用事例

マイクロ慣性センサをスマートフォンの慣性センサから桁違いに高精度化することができれば、都市部や悪天候下など様々な環境下においても、安全かつ高度に自動運転を行うことが可能になります。マイクロ慣性センサは半導体製造技術によって作製されるため安価であり、自動車だけでなくパーソナルモビリティやロボットの自動走行化にも広く普及させることが可能です。市場規模は数千億と見込まれています。

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特許情報

企業へのメッセージ

超高精度なマイクロ慣性センサの実現に向けて、低ノイズ回路技術を保有するセンサメーカー様、半導体デバイスメーカー様、自動車部品メーカー様、等の企業様との共同研究を希望しています。デバイスだけでなく、設計技術やシミュレーション技術等の要素技術での貢献もできると考えております。

お問い合わせ先

学術研究支援センター

E-mail: uraonly@ccml.meijo-u.ac.jp