カーボンニュートラル・環境
ブース番号C-001
- 大学等シーズ展示
- プロトタイプ（研究室）
- 共同研究開発
- 起業準備中（起業までのロードマップあり、具体的な問題点、協力者要望等の相談希望）
楕円型のチャンバで超簡単！！ マイクロ波プラズマ生成装置
Elliptical Chamber Magic: Revolutionary Easy Microwave Plasma Generator!!
キーワード：
- #楕円
- #チャンバ
- #マイクロ波
- #プラズマ
金沢工業大学 工学部 電気エネルギーシステム工学科
准教授藤田 萩乃
Kanazawa Institute of Technology
Associate ProfessorHagino Fujita
技術概要
楕円型チャンバの一方の焦点からマイクロ波を放射すると，他方の焦点に電界が集中し，大気圧下でも数ワットの低電力で容易にプラズマを生成できる。従来のマイクロ波空洞共振器は共振条件の維持や精密なインピーダンス整合が必要であり，スロットアンテナ型では導波路における電磁界分布を制御する必要がある。さらに表面波プラズマでは大型の真空チャンバを必要とするため，処理に時間がかかり，高コスト化が避けられない。本手法は楕円の幾何学的特性により電界を自然に集束でき，簡便かつ高効率な大気圧プラズマ生成を実現する。
想定される活用事例
本手法の低電力かつ大気圧動作という特長を活かし，表面改質や洗浄などの材料プロセスへの応用，DLCへの適用が挙げられる。さらに，真空装置を必要としないため，医療・バイオ分野における滅菌・創傷治療や，食品分野における殺菌・鮮度保持への展開が期待される。また，小型・簡便な構成から大規模集約型ではく，オンサイトで分散配置し，環境浄化や有害ガス分解などへの利用も有望である。
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特許情報
- 出願ステージ
- 出願中（公開前）
- 名称
- プラズマ生成装置及びプラズマ生成方法
- 特許権者または出願人
- 金沢工業大学
- 発明者
- 藤田萩乃
- 基礎出願番号
- 特願2026-083554
- 基礎出願年月日（西暦）
- 2026年5月18日
企業へのメッセージ
本技術は低電力・大気圧でプラズマ生成が可能であり、表面改質、洗浄、殺菌、環境浄化への応用が期待されます。真空設備を必要としない小型・簡便な構成を活かし、用途開発、実証評価、社会実装を進める企業との共同研究・技術連携を希望します。
お問い合わせ先
金沢工業大学 産学連携局
