技術概要

ガス発光を用いた新しいアルファ線分析技術を提案します。材料表面から放出される微量なアルファ線の放出量は用途に応じて0.01~0.0001アルファ/cm2/hrの感度レベルで検査要求されます。本研究室では小型装置を開発しました。イメージセンサーを搭載した装置は、材料表面のどこに不純物混入しているか特定できるため歩留り改善や、複数同時比較検証など開発試験にも有用です。

想定される活用事例

近年、半導体領域で超低アルファ材料の需要が拡大している。製造におけるばらつきはあるが試験をクリアした材料は、実はもっと低アルファな材料なのかもしれない。装置の感度が向上すれば正しく材料の価値を評価できる。一方で、さらに高純度(低不純物)な材料製造技術開発においても、混入経路の発見などで本技術が貢献できる。

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特許情報

企業へのメッセージ

半導体業界では材料品質検査の項目にアルファ線分析があります。宇宙・素粒子実験の技術を応用した分析装置を用いた、高感度なアルファ線分析に興味ありませんか？材料の品質試験の精度や、歩留りを改善したい、分析原理について知りたい、などの相談にお応えいたします。試作機を展示しております。

お問い合わせ先

神戸大学 学術研究・社会共創推進部 社会共創課

E-mail: ksui-sangaku@office.kobe-u.ac.jp